北方微电子再助我国IC关键设备破零

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专项“65-45nm PVD设备研发”通过验收

近日，由北方微电子牵头承担的02专项“65-45nm PVD设备研发”项目顺利通过02专项实施管理办公室的验收，项目圆满完成了规定内容，填补了我国IC（集成电路）制造装备PVD设备的空白。这也是北方微电子继在100纳米高密度等离子刻蚀机后又一项IC关键设备的重大突破。

据介绍，65-45nm PVD设备研发项目是“极大规模集成电吉林治疗癫痫很好的医院路制造装备及成套工艺” 科技重大专项（02专项）“十一五”期间布局的重要项目，由北京北方微电子公司牵头承担，目的是填补我国集成电路制造装备PVD设备的空白，实现我国PVD设备制造水平与国际先进水平的同步，使国内装备研制水平紧跟世界的发展潮流，更广泛地增强我国集成电路装备业自主发展的创新能力，实现集成电路核心制造装备的跨越式发展，进一步巩固十五的癫痫检查项目基础并打破国际封锁，解决阻碍我国集成电路产业进一步发展的瓶癫痫病的危害颈。

据悉，铜PVD设备是集成电路生产线互连工序的核心工艺装备，也是集成电路三大高端工艺装备（曝光、刻蚀、PVD）之一，PVD项目的实施直接关系到我国集成电路关键设备的技术和应用水平，对整个专项的成功完成具有重要的意义。 65-45nm铜PVD设备研发的成功，实现了我国高端PVD设备研制领域的零的突破，为我国高端PVD设备的产业化与集成电路制造装备技术的可持续性发展打下了坚实的基础，并将带动我国集成电路装备制造业、关键零部件配套行业乃至整个集成电路行业的发展，拉动我国相关科研技术水平的提升。同时，该项目的研究成果也为下一代铜PVD设备的研发奠定了基础，并可拓展应用至TSV PVD、LED PVD的工艺及癫痫病治疗方法设备领域。（实习记者王硕）